龙玺精密FSE FU-20PEB-RH-1200蒸发台需要联系

FSE FU-20PEB-RH-1200 蒸发台参数

基本规格

设备类型：电子束蒸发系统 (PEB 表示电子束蒸发技术)

制造商：台湾富临科技 (FULINTEC)

型号含义：FU-20PEB 系列，RH 可能代表旋转功能，1200 表示尺寸规格

出厂日期：2007 年 03 月 20 日 (参考同类设备)

电源：AC 220V/39A，100A

水源：AIR

气源：5kgf/cm²

氮气源：N₂ GAS，1kgf/cm²

基片处理能力

支持晶圆尺寸：2 英寸

单次处理量：102 片

适用领域：中大规模生产

温度控制系统

基片加热范围：室温至 300℃

控制方式：PLC 或触摸屏精确调控

温度均匀性：≤±5℃(参考同类设备)

真空系统

极限真空度：约 10⁻⁶ Torr (参考同类设备)

真空配置：分子泵 + 机械泵组合 (参考同类设备)

工作真空：约 3×10⁻⁶ Torr (参考同类设备)